膜厚儀是薄膜厚度測(cè)量?jī)x的簡(jiǎn)稱，是一種用來(lái)在線并定量的測(cè)量透光或者半透光的各種薄膜厚度的儀器儀表，通常采用光干涉原理測(cè)量薄膜厚度。

　　膜厚儀的作用

　　可應(yīng)用于在線膜厚測(cè)量,測(cè)氧化物,SiNx,感光保護(hù)膜和半導(dǎo)體膜.也可以用來(lái)測(cè)量鍍?cè)阡?鋁,銅,陶瓷和塑料等上的粗糙膜層.薄膜表面或界面的反射光會(huì)與從基底的反射光相干涉,干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關(guān),因此可通過(guò)計(jì)算得到薄膜的厚度.光干涉法是一種無(wú)損,且快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量技術(shù),薄膜測(cè)量系統(tǒng)采用光干涉原理測(cè)量薄膜厚度。

　　膜厚儀的特點(diǎn)：

　　1,可以測(cè)量多層膜中每一層的厚度

　　2,三維的厚度型貌

　　3,遠(yuǎn)程控制和在線測(cè)量

　　4,可做150mmor300mm的大范圍的掃描測(cè)試

　　5,豐富的材料庫(kù):操作軟件的材料庫(kù)帶有大量材料的n和k數(shù)據(jù),基本上的常用材料都包括在這個(gè)材料庫(kù)中.用戶也可以在材料庫(kù)中輸入沒(méi)有的材料.

　　6,軟件操作簡(jiǎn)單,測(cè)速快:膜厚測(cè)量?jī)x操作非常簡(jiǎn)單,測(cè)量速度快:100ms-1s.

　　7,軟件帶有構(gòu)建材料結(jié)構(gòu)的拓展功能,可對(duì)單/多層薄膜數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析,可對(duì)薄膜材料進(jìn)行預(yù)先模擬設(shè)計(jì).

　　8,軟件帶有可升級(jí)的掃描功能,進(jìn)行薄膜二維的測(cè)試,并將結(jié)果以2D或3D的形式顯示.軟件其他的升級(jí)功能還包括在線分析軟件,遠(yuǎn)程控制模塊等

　　以上便是今天關(guān)于膜厚儀通常采用光干涉原理來(lái)測(cè)量薄膜厚度的全部分享了，希望對(duì)大家今后使用本設(shè)備能有幫助。